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真空设备的常见故障排查方法
来源: | 作者:pmod48e43 | 发布时间: 2019-05-20 | 34 次浏览 | 分享到:
维修真空设备的要点是判断故障。真空抽不上去,原因可能有几个,一定要搞清楚是什么原因。
 
是真空机组的抽气能力不够还是漏率高;或者两者兼而有之,需要耐心观察和记录,从中找出故障原因,比如,抽空时间相同,而真空度偏低,这时候,关闭高压阀,如真空计指针很快下降,多数情况是真空室漏了,应先查出漏点。如真空计指针下降很慢,多数情况是真空机组抽气能力不够,这时可将重点放到查找真空泵及阀门的问题上,看是哪里出现了泄漏,或是扩散泵油被污染了,氧化了等;或是前级管路密封不好,泵油不足;或是泵有油乳化,轴封漏油,阀片损坏等故障。
 
在真空设备维修中用户最头疼的一定是检测漏率问题了。漏分内漏和外漏;外漏比较好检测,内漏则难办些。外漏较大的漏点可以用火焰法,利用气流能使火焰偏离的原理,先抽上真空,用蜡烛或打火机在可疑点附近逐步查寻,会发现火苗向漏点偏移,则可找到漏点。内漏则要从不同真空工作区域分区排查,在真空系统达到一定压力值后,分别启动卷绕和蒸发系统,观察真空计的读数在短暂下降后有无爬升,可以初步判断内漏点方向。内漏多发生在有水冷却点的设备上,在查外漏没有发现疑点,但是却有以下现象:机械泵的抽速明显偏低,真空计示值低,机械泵油很快乳化,真空室内的铁基零部件明显锈蚀等,具备以上条件基本可以推断内漏,先将腔体清理干净,再通冷却水,仔细查看通水管路有无湿润点,湿润处就是漏点。
 
说到这里可能的大家觉得好像检漏也不是那么难啊,为啥说是最头疼的问题呢, 其实呢,大的漏点并不难找,最困难的是小漏和微漏了。
 
那么有什么方法可以有效解决小漏微漏呢?
 
可以利用在高真空状态下电离管对某些气体反应敏感来检漏,比如丙酮或乙醇,用医用注射器向可疑的地方喷射丙酮或乙醇,结合指针式真空计,喷到漏点时,电离计的指针会有明显摆动,用这种方法检漏一定要有耐心,要等到电离计的示值稳定了,也就是真空机组的抽气能力和漏率平衡了,再喷射,反复几次,确认漏点。